A tarea di u restava di chiodu in l'industria di i fabricazione di l'IC vicinu à a dimensione è u numeru di particelli di l'aurale in u chip. Una bona urganizazione di l'aire di l'aire conduce da a fonte pulita per assicurà a sala di a pulizzazione di a sala pulita, vale à dì l'urganizazione pulita ghjoca un vitru di aerea un vitru di reta di pruduzzione ic di pruduzzione. U disignu di l'urganizazione di l'aire in a stanza di a stanza, deve ottene i seguenti scopi: Reduce l'EDDY currente in u campu di u flussu per evità a partita dannose; Mantene un gradiente di pressione pusitiva adatta per impedisce a contaminazione di croce.
Forza di Airflow
Secondu u principiu di a stanza di a camera, i fori chì agiscenu nantu à e particelli cumprenu forza di massa, forza moleculare, attrazione trà e particelle, etc.
Forza aerea: si riferisce à a forza di l'aria causata da a cunsegna, rende aereo aereo, un ferdenza artificiale cù un certu flussu di partiture. Per u cuntrollu tecnicu di l'ambiente di stanza pulita, a forza aerea hè u fattore più impurtante.
L'esperimenti anu dimustratu chì in u muvimentu di l'aria, e particelle seguitanu u muvimentu di l'aria in quasi a stessa velocità. U statu di e particelle in l'aria hè determinata da a distribuzione di l'aria. I aviani chì affettanu particularmente interni Incultate principalmente: "cumprese aereo primariu" camminata si provendacca da e persone chì si scurzanu da e persone, è a vostra épreczione. Differenti metudi di furnimenti in aria, spaventatori, operatori, Equipamentu industriali, e spenu puliti sò tutti l'occasione.
Fattori chì afectanu l'urganizazione di l'aire
1. L'influenza di u metudu di furnimentu d'aria
(1). Velocità di supply aereo
Per assicurà l'aria di l'aria uniforme, a velocità di furnimentu AIR deve esse uniforme in una stanza pulita unidirezionale; a zona morta di a superficia di l'alloghju d'aire deve esse chjucu; è a goccia di pressione in l'ulpa deve esse ancu uniforme.
Velocità di furnimentu uniforme d'Aria: vale à dì, l'iridità di l'aria hè cuntrullata in ± 20%.
A zona minima morta nantu à a superficia di u fornimentu di l'Aria deve esse ridutta l'aelu di l'ulpa, ma più impurtante ffu deve esse aduttatu per simplificà u quadru redunante.
Per assicurà a terra aerea airicale verticale, a selezzione di u filtru di a pressione hè ancu assai impurtante, chì esige chì a perdita di a pressione in u filtru ùn pò micca devià.
(2). Paraguni trà u sistema di ffu è u sistema di fan di u flussu di u flussu Axiale
Ffu hè una unità di furnimentu d'aria cun un fan è un filtru (ulpa). Dopu chì l'aria hè succiabile da u fan centurifugale di ffu, a prissioni Dinamica hè cunvertitu in a pressione statica in l'uffiziu di l'aria è di colpu à l'ULPA. A pressione di l'aria in u soffiu hè a pressione negativa, per chì nisuna polvera farà lagnà in a stanza pulita quandu u filtru hè sustituitu. L'esperimenti anu dimustratu chì u sistema di ffu hè superiore à u sistema di fan di u flussu di l'aria di l'aria di l'aria, l'indice di l'efficienza di l'efficienza di l'aire. Questu hè perchè u parallelismu di l'aria di u sistema FF hè megliu. L'usu di u sistema di ffu pò fà u flussu di aereo in a stanza di a sala megliu organizzata.
(3). L'influenza di a struttura propria di FFU
Ffu hè cumpostu principalmente di i fan, filtri, i dispositi di a guida di l'aria è altri cumpunenti. L'ulpa ultra-alta efficienza ULPA hè a garanzia più impurtante per se a stanza pulita pò ottene a pulizia necessaria di u disignu. U materiale di u filtru afecterà ancu a uniformità di u campu di u flussu. Quandu un materiale di filtru grossu o un platu di flussu lampu hè aghjuntu à u filtru Outlet, u campu di u flussu di Outlet pò esse facilmente in uniforme.
2. Impattu di diverse interfacce di velocità di pulizia
In listessa salottu, trà l'area di u travagliu è u fiore non travagliu di u flussu unidirezzione verticale à l'effettu di l'ulpa, un effettu di vortice mista sarà generatu in l'interfaccia, è questa interfaccia, diventerà turbulente Zona di flussu aereu cù intensità di turbulenza di turbulenza inutilmente alta. I particelle ponu esse trasmessi à a superficia di l'equipaggiu è contaminà l'equipaggiu è i wafers.
3. Impattu di u persunale è l'equipaggiu
Quandu a sala hè viota, e caratteristiche di u flussu di l'aria in a stanza in generale scontra i requisiti di u disignu. Una volta chì l'equipamentu entra in a sala, u persunale di u persunale è i prudutti sò trasmessi, ci sò stati ornati inevitammi, ci saranu elevati inevitamenti à l'urganizazione d'aria. Per esempiu, in cantoli o bordi protrudenti di l'equipaggiu, u gasu serà divutu per furmà una zona turbulente, è u fluidu in a zona ùn hè micca facilmente u gasu, dunque causà a contaminazione. In listessu tempu, a superficia di l'equipamentu calendete per via di Operazione cuntinua, è a temperatura sarà causata una zona di rifuggianza vicinu à a macchina, chì hà aumentà l'accumulazione di particelle. À u stessu tempu, a alta temperatura causerà facilmente e particelle per fughje. U duale effettu aggravatu a difficultà di cuntrullà a pulizia di lamina verticale generale. A polvera da l'operatori in a stanza di pulita hè assai faciule da aderisce à i caccia in queste zone di rimborsu.
4. Influenza di u pianu di l'aria di ritornu
Quandu a resistenza di u lettu di vultà attraversu u terra hè diversa, una pressione diferenza serà di pressione in a direzione di menu resistenza, l'airflow uniforme ùn saranu micca uttene. U metudu di u cuncepimentu populari attuale hè di aduprà pavimenti elevati. Quandu a tariffa aperta di pavimenti elevati hè di 10%, a vitudine di l'aereu in a altezza di u travagliu di a stanza pò esse distribuita unificata. Inoltre, l'attenzione stretta deve esse pagata per a pulizia di u travagliu per riduce a fonte di a contaminazione di u pianu.
5. Fenomenu di induzione
U fenomenu di induzione di u fenomenu à u fenomenu chì a direzione di l'aire in a direzione opposta, è a polvera hà generatu in a stanza o a polvera hè pruvata à u latu pò contaminà u chip. I seguenti sò i pussibuli fenomeni di induzione:
(1). Pianu chjappu
In una stanza pulita cun un flussu uniguridente verticale, à mezu à i tonni à u muru, ci sò generalmente piatti cedi chì generanu turbulenza in u flussu di ritornu locale.
(2). LAMPTI
L'illuminazione di l'illuminazione in a stanza pulita anu un impattu più grande. Dapoi u calore di lampadi fluoriscenti provoca l'aire di l'aria, ùn ci sarà micca zona turbulente sottu i lampi di fluoriscenti. In generale, e lampade in a stanza pulita sò pensati in una forma di lampante per riduce l'impattu di i lampi nantu à l'urganizazione di a fiurita.
(3.) I lacune trà i mura
Quandu ci sò un colpu trà partizioni cù livelli di pulizia diversa o trà partizioni è i so limiti è i bisogni di pulizia bassa ponu esse trasferiti à l'area adjacente cù e requisiti à a pulizia alta.
(4). Distanza trà a macchina è u pianu o u muru
Se u distaccu trà a macchina è u pianu o u muru hè assai chjucu, pruvucarà turbulenza di rimborsu. Dunque, lascia un distaccu trà l'equipaggiu è u muru è a crescita a macchina per evità di lascià a macchina toccu direttamente.
Tempu post: Feb-05-2025