Rèsione per chiodu in industria di u chipà in chip assaligatu à a taglia è u numeru di particelli di l'aereu di u chip. L'urganizazione di u flussu di l'aria bon particella pò piglià particeddi generati da e fonti di polvera luntanu da a sala pulita è assicurà a pulizia di a limpe di a limita. Eccu, l'Organizazione di u Flussu aere in Pulizia ghjoca un rolu Vitale in u rimuffu di a Produzione Chip. L'obiettivi per esse ottenuti in u disignu di l'organizazione di u flussu d'aria pulita sò: per riduce o eliminà correnti eddy in u campu di flussu per evità a retenzione di particelle nocivi; per mantene un gradiente di pressione pusitiva adatta per impedisce a contaminazione cross.
Sicondu u principiu di a stanza di a spole, i fori chì agiscenu in particelli includenu forza di massa, forza moleculare, attrazione trà e partices, forza di fiori, etc.
Forza di l'aire: si riferisce à a forza di l'aria causata da fornitura è di ritornu aereo, convezzione ligera assuciativa, agitazione artificiale, è altre agentu artificiale per purtassi partici. Per u cuntrollu di a tecnulugia ambientale di a stanza, a forza di u flussu aereu hè u fattore più impurtante.
L'esperimenti anu dimustratu chì in muvimentu di florflow, particelli seguenu u florfla in guasi esamente a stessa vitezza. A cundizione di particelle in aria hè determinata da a distribuzione di l'aria. L'effetti principali di a terra in aerea nantu à l'ortu INDORAN incluendu: Airicciu aereo (cumprendu lieu primariu in particulare, è l'impattu di a terra in e particelle causate da e particole è l'equipaggiualizioni " Differentarii Metudi Supporti Aduristi, Opera di Previsione di l'Italia, operatori Industriali è fenomeni industriale, i fenomeni indurotti sò tutti i vostri fattori chì afecta u livellu di puliolimentu.
1. Influenza di u metudu di furnimentu d'aria
(1) Velocità di furnimentu di l'Aria
Per assicurà u flussu d'aria uniforme, a velocità di furnimentu aerea in a stanza di u flussu di u flussu unidireccionale deve esse uniforme; a zona morta nantu à a superficia di l'alloghju d'aria deve esse chjucu; è a pressione goccia in u filtru Hepa deve ancu esse uniforme.
A velocità di furnimentu di l'Aria hè uniforme: vale à dì, l'iridità di u flussu d'aria hè cuntrullatu in ± 20%.
Ci hè menu spaziu nantu à a superficia di u supplyu di l'aria: Non solu u pianu deve esse ridutta u pianu, ma più impurtante, ffu assai, assaidu;
Per assicurà chì u flussu di l'aria hè verticale è unidirectale, a selezzione di u filtru hè ancu assai impurtante, è hè necessariu chì a perdita di pressione ùn pò micca esse biased.
(2) Comparison tra u sistema di FFU è u sistema di fan di u flussu Axiale
Ffu hè una unità di furnimentu d'aria cun un fan è filtru di hepa. L'aria hè succhiata da u fan di centrifugale di u ffu è cunverta a pressione dinamica in a pressione statica in l'aria di l'aria. Hè sbulicatu uniformemente da u filtru hepa. A pressione di l'aria à u tettu hè a pressione negativa. Sta manera chì a polvera fucilerà in a stanza pulita quandu sustituì u filtru. L'esperimenti anu dimustratu chì u sistema FFU hè superiore à u sistema di fan di u flussu di u flussu di l'aria di l'aria, l'indice di l'efficienza di l'aria è di a ventilazione Questu hè chì u parallelismu di u flussu d'aria di u sistema di u ffu hè megliu. L'usu di u sistema di ffu pò migliurà l'urganizazione di u flussu d'aria in stanza pulita.
(3) influenza di a struttura propria di FFU
Ffu hè cumpostu principalmente di fan, filtri, guidi di flussu d'aria è altri cumpunenti. U filtru HEPA hè a garanzia più impurtante per a stanza pulita per ottene a pulizia necessaria necessaria per cuncepimentu. U materiale di u filtru afecterà ancu a uniformità di u campu di u flussu. Quandu un materiale di filtru grossu o un platu flussu hè aghjuntu à u filtru Outlet, u campu di u flussu di Outlet pò esse facilmente fattu uniforme.
2. Impattu di l'interfaccia di velocità cù a pulizia diversa
In listessa sala pulita, trà l'area di u travagliu è u fiore non travagliu cù un flussu unidirezale verticale, à causa di a scarla vitezza in a vittura di l'aria, un effettu di vrforse misti è sta interface sarà una turbulente zona di aerea. L'intensità di a turbulenza d'aria hè particularmente forte, è e particelle ponu esse trasmessi à a superficia di a macchina equipaggiu è contaminà l'equipaggiu è i wafers.
3. Impattu nantu à u persunale è l'equipaggiu
Quandu a sala hè viota, e caratteristiche di u flussu d'aria in stanza in generale scontra i requisiti di u disignu. Dopu l'equipaghjamentu à a Puliziazia, e persone mossi, e pruri sò il ornati à l'urganizazione di u flussu, cum'è i punti chjude chì surtenu da a macchina equipamentu. A i cantoni o i fornu, u gas divertu per a furmà una zona di flussu turbulente, è u fluidu in a zona ùn serà micca facilmente purtata da u gasu entratu, u dunque causari contamurment.
In listessu tempu, a superficia di l'equipaghjuneria meccanica serà per via di operazione cuntinua in esecuzione pruvucà un terrenu vicinu vicinu à a macchina, chì a cresce l'accumulazione. À u stessu tempu, a alta temperatura causerà facilmente e particelle per fughje. L'effettu duale intensifica a capa verticale generale. A difficultà di cuntrullà a pulizia di u flussu. Polvere da l'operatori in a stanza di pulita pò esse facilmente aderisce à i waers in queste spazii di remlow.
4. Influenza di u pianu di l'aria di ritornu
Quandu a resistenza di u aria di u ritornu chì passa per u pianu hè diversu, a differenza di a pressione, pruvucà l'aria per flussu di a direzzione di a piccula resistenza. U metudu di u cuncepimentu currente hè di aduprà un pianu elevatu. Quandu u rapportu di l'apertura di u pianu elevatu hè à 10%, a velocità di u flussu di l'aria pò esse distribuitu uniformemente in l'altezza di travagliu interni. Inoltre, l'attenzione stretta deve esse pagata per a pulizia di u travagliu per riduce a fonte di contaminazione à u pianu.
5. Fenomenu di induzione
U cena di induzione si riferisce à u fenomenu di generà a direzzione in a direzione opposta à u flussu di u polvere in a stanza I pussibuli fenomeni induvati includenu i seguenti:
(1) Pianu cecu
In una stanza pulita cun flussu in una manera verticale, à causa di l'opinione nantu à u muru, ci sò generalmente pannelli ceci chì anu da flussu turbulente è di a fiancu lucale.
(2) Lampi
L'illuminazione di e fianzu in a stanza pulita anu un impattu più grande. Siccomu u calore di a lampa fluoriscente provoca l'aire di l'aria, a lampa fluoriscente ùn serà micca diventata una zona turbulente. In generale, e lampade in a stanza pulita sò pensati in una forma di lampante per riduce l'impattu di i lampi nantu à l'urganizazione d'aire.
(3) I lacune trà i mura
Quandu ci sò una lacuna trà i mura di partizione cù e diverse esigenze di pulizia, a polvera cun i bisogni di pulizia bassa ponu esse trasferiti à e dumande adiacenti cù e requisiti di a culezza alta.
(4) a distanza trà l'equipaggiu meccanicu è u pianu o u muru
Se a lacuna trà l'equipaggiu meccanicu è u pianu o u muru hè chjucu, a turbulenza di rimborsu. Dunque, lascia un distaccu trà l'equipaggiu è u muru è a crescita a piattaforma di a macchina per evità u cuntattu direttu cù a terra.
Tempu di posta: Nov-02-2023