U rendiment di chip in l'industria di fabricazione di chip hè strettamente ligatu à a dimensione è u numeru di particelle d'aria dipositate nantu à chip.Una bona urganizazione di u flussu d'aria pò piglià e particelle generate da fonti di polvera fora di a stanza pulita è assicurà a pulizia di a stanza pulita.Vale à dì, l'urganizazione di u flussu di l'aria in a sala bianca ghjoca un rolu vitale in u rendiment di a produzzione di chip.L'ugettivi da ghjunghje in u disignu di l'urganizazione di u flussu di l'aria di a stanza pulita sò: per riduce o eliminà i currenti eddy in u campu di flussu per evità a retenzioni di particeddi dannosi;per mantene un gradiente di pressione pusitivu adattatu per prevene a contaminazione cruciata.
Sicondu u principiu di stanza pulita, e forze chì agiscenu nantu à e particelle includenu forza di massa, forza molekulari, attrazione trà e particelle, forza di flussu d'aria, etc.
Forza di u flussu d'aria: si riferisce à a forza di u flussu d'aria causata da u flussu d'aria di furnimentu è di ritornu, u flussu d'aria di cunvezione termale, l'agitazione artificiale è altri flussi d'aria cù un certu flussu per trasportà particelle.Per u cuntrollu di a tecnulugia ambientale di stanza pulita, a forza di u flussu d'aria hè u fattore più impurtante.
L'esperimenti anu dimustratu chì in u muvimentu di u flussu di l'aire, i particeddi seguitanu u flussu di l'aria à quasi esattamente a stessa velocità.A cundizione di particeddi in l'aria hè determinata da a distribuzione di u flussu d'aria.L'effetti principali di u flussu d'aria nantu à e particelle interne includenu: u flussu d'aria di furnimentu d'aria (cumpresu u flussu d'aria primariu è u flussu d'aria secundariu), u flussu d'aria è u flussu d'aria di cunvezione termica causatu da e persone chì caminanu, è l'impattu di u flussu d'aria nantu à e particelle causate da operazioni di prucessu è equipaghji industriali.Diversi metudi di furnimentu di l'aria, interfacce di velocità, operatori è equipaghji industriali, fenomeni indotti, etc. in camere pulite sò tutti fattori chì affettanu u livellu di pulizia.
1. Influenza di u metudu di furnimentu d'aria
(1) A velocità di furnimentu di l'aria
Per assicurà un flussu d'aria uniforme, a velocità di furnimentu d'aria in a stanza pulita di flussu unidirezionale deve esse uniforme;a zona morta nantu à a superficia di furnimentu d'aria deve esse chjuca;è a caduta di pressione in u filtru hepa deve ancu esse uniforme.
A velocità di furnimentu di l'aria hè uniforme: vale à dì, l'irregularità di u flussu d'aria hè cuntrullata in ± 20%.
Ci hè menu spaziu mortu nantu à a superficia di furnimentu di l'aria: ùn solu ùn deve esse ridutta l'area di u pianu di u quadru di l'hepa, ma più impurtante, FFU modulari deve esse usatu per simplificà u quadru redundante.
Per assicurà chì u flussu di l'aria hè verticale è unidirezionale, a selezzione di caduta di pressione di u filtru hè ancu assai impurtante, è hè necessariu chì a perdita di pressione in u filtru ùn pò esse preghjudiziu.
(2) Comparazione trà u sistema FFU è u sistema di ventilatore di flussu assiale
FFU hè una unità di furnimentu d'aria cù un ventilatore è filtru hepa.L'aria hè aspirata da u fan centrifugal di u FFU è cunvertisce a pressione dinamica in pressione statica in u duttu di l'aria.Hè soffiatu uniformemente da u filtru hepa.A pressione di furnimentu d'aria nantu à u tettu hè una pressione negativa.In questu modu, nisuna polvera sguasserà in a stanza pulita quandu si rimpiazza u filtru.L'esperimenti anu dimustratu chì u sistema FFU hè superiore à u sistema di fan di flussu assiale in quantu à l'uniformità di l'outlet d'aria, u parallelismu di u flussu d'aria è l'indice di efficienza di ventilazione.Questu hè chì u parallelismu di u flussu d'aria di u sistema FFU hè megliu.L'usu di u sistema FFU pò migliurà l'urganizazione di u flussu d'aria in a stanza pulita.
(3) Influenza di a struttura propria di FFU
FFU hè principalmente cumpostu di ventilatori, filtri, guide di flussu d'aria è altri cumpunenti.U filtru hepa hè a guaranzia più impurtante per a stanza pulita per ottene a pulizia necessaria da u disignu.U materiale di u filtru affettarà ancu l'uniformità di u campu di flussu.Quandu un materiale di filtru grossu o una piastra di flussu hè aghjuntu à l'outlet di u filtru, u campu di flussu di l'outlet pò esse facilmente uniformatu.
2. Impattu di interfaccia vitezza cù differente pulizia
In a stessa stanza pulita, trà l'area di travagliu è l'area non-travagliu cù u flussu unidirezionale verticale, per via di a diffarenza di a velocità di l'aria à a scatula hepa, un effettu vortex mistu si verificarà à l'interfaccia, è sta interfaccia diventerà un turbulente. zona di flussu d'aria.L'intensità di a turbulenza di l'aria hè particularmente forte, è i particeddi ponu esse trasmessi à a superficia di a macchina di l'equipaggiu è contaminate l'equipaggiu è i wafers.
3. Impattu nantu à u persunale è l'equipaggiu
Quandu a stanza pulita hè viota, e caratteristiche di u flussu d'aria in a stanza in generale risponde à i requisiti di cuncepimentu.Una volta chì l'attrezzatura entra in a stanza pulita, a ghjente si move, è i prudutti sò trasportati, ci sò inevitabilmente ostaculi à l'urganizazione di u flussu di l'aria, cum'è punti affilati chì sporgenu da a macchina di l'equipaggiu.À l'anguli o l'arghjintini, u gasu sviarà per furmà una zona di flussu turbulente, è u fluidu in l'area ùn serà micca facilmente purtatu da u gasu entratu, cusì causendu a contaminazione.
À u listessu tempu, a superficia di l'attrezzatura meccanica serà riscaldata per via di u funziunamentu cuntinuu, è u gradiente di temperatura pruvucarà una zona di reflow vicinu à a macchina, chì aumenta l'accumulazione di particeddi in l'area di reflow.À u listessu tempu, l'alta temperatura facia facilmente e particeddi à scappà.L'effettu duale intensifica a strata verticale generale.A difficultà di cuntrullà a pulizia di u flussu.A polvera da l'operatori in a stanza pulita pò facilmente aderisce à i wafers in questi spazii di riflussu.
4. Influenza di u pianu di l'aria di ritornu
Quandu a resistenza di l'aria di ritornu chì passa per u pianu hè diversu, a diffarenza di pressione si farà, facendu chì l'aria scorri in a direzzione di a piccula resistenza, è u flussu d'aria uniforme ùn serà micca ottenutu.U metudu di cuncepimentu populari attuale hè di utilizà un pianu elevatu.Quandu u rapportu d'apertura di u pianu elevatu hè di 10%, a velocità di u flussu di l'aire pò esse distribuitu uniformemente à l'altitudine di travagliu interiore.Inoltre, una stretta attenzione deve esse pagata à u travagliu di pulizia per riduce a fonte di contaminazione in u pianu.
5. Fenominu di induzione
U cosiddettu fenomenu d'induzione si riferisce à u fenomenu di generazione di flussu d'aria in a direzzione opposta à u flussu uniforme, induce a polvera generata in a stanza o a polvera in i zoni contaminati adiacenti à u latu upwind, facendu cusì chì a polvera contamina l'ostia.I fenomeni indotti pussibuli includenu i seguenti:
(1) Piatto cecu
In una stanza pulita cù un flussu unidirezionale verticale, per via di e junzioni nantu à u muru, ci sò generalmente grandi pannelli cechi chì pruduceranu un flussu turbulente è un backflow lucale.
(2) Lampade
L'attrezzi di illuminazione in a stanza pulita avarà un impattu più grande.Siccomu u calore di a lampa fluoriscente face chì u flussu di l'aria cresce, a lampa fluorescente ùn diventerà micca una zona turbulenta.In generale, i lampi in stanza pulita sò cuncepiti in una forma di lacrime per riduce l'impattu di e lampade nantu à l'urganizazione di u flussu d'aria.
(3) Spaziu trà i muri
Quandu ci sò spazii trà pareti divisori o tetti cù diverse esigenze di pulizia, a polvera da e zone cù esigenze di pulizia bassa pò esse trasferita à e zone adiacenti cù esigenze di pulizia elevate.
(4) A distanza trà l'equipaggiu meccanicu è u pianu o u muru
Se a distanza trà l'equipaggiu meccanicu è u pianu o u muru hè chjuca, a turbulenza di rebound si verifica.Dunque, lasciate un spaziu trà l'equipaggiu è u muru è alzate a piattaforma di a macchina per evità u cuntattu direttu cù a terra.
Tempu di Postu: Nov-02-2023